3D-Topometrie nanofocus µsurf

Konfokale Mikroskopie unter Nutzung der Multi-Pinhole-Technologie

• Sekundenschnelle Flächenmessung in hoher Auflösung
• Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
• Vertikaler Messbereich bis 50mm x 50mm
• Höhen-Messbereiche zwischen 1 μm und 10mm
• Höhenauflösung bis zu 1 nm