Gerätetechnik

Technische Parameter:

• Maximal Scan Größe: 100 μm x 100 μm
• Elastizitätsmodul Bereich: 5 GPa ... 300 GPa
• Maximale laterale Auflösung: wenige Nanometer
• Maximale Probengröße: 30 cm x 30 cm x 3 cm
• Motorisierte Probestufen in Sub-Mikrometer Schritten