Präparation der Proben

Die Transmissionselektronenmikroskopie erfordert eine hochentwickelte Probenherstellung. Neben der klassischen Querschnittspräparation erlaubt der Einsatz des fokussierten Ionenstrahls (FIB):

• Konventionelle und planare Lamellen
• Zielpräparation mittels in situ und ex situ Lift-out
• Spezielle Probengeometrien (z.B. Zylinder für Tomographie)
• Spezielle Probenhalter (z.B. Be-Träger)
• Reduzierung der Randamorphisierung durch Polieren mit niederenergetischen Ga-Ionen