Zerstörungsfreie Inline-Prüftechnik für elektronische und mechanische Komponenten sicherheitsrelevanter Systeme - Phase II
Inhalt: Ziel des Projektes ist die Entwicklung und Vermarktung zerstörungsfreier Prüftechnik zur Qualitätssicherung elektronischer und mechanischer Erzeugnisse. Großen Einfluss auf die Qualität hat die Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), wo Halbleiter, Bauelement und Baugruppe zu einem System bzw. Package verbunden werden.
Die Entwicklung in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik schreitet stetig voran, dadurch entstehen neue Anforderungen an die Weiterverarbeitung und Nutzbarmachung dieser Entwicklungen in Systemen für einen Endnutzer. Der Übergang zu nanoskaligen Strukturbreiten in der Halbleitertechnik zieht durch die damit einhergehende Miniaturisierung auf allen Systemebenen einen Paradigmenwechsel in der weiterverarbeitenden AVT nach sich (nano-AVT ). Hinzu kommen ständig steigende Anforderungen an die Langzeitzuverlässigkeit solcher Systeme.
Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, benötigt man in Zukunft nicht nur Prüfverfahren, die die Funktionsfähigkeit eines Produktes nachweisen. Dringend erforderlich sind bildgebende Verfahren, die eine zerstörungsfreie Analyse von Teilvolumina eines Systems (Verbindungsstelle, Bauelement, Modul) auch im laufenden Produktionsprozess ermöglichen. Eine Übertragung der in der Halbleiterindustrie genutzten Prüftechnik auf die nano-AVT ist nicht möglich, da die Anforderungen an die erreichbare Auflösung, die Größe der Prüfobjekte, die Prüfgeschwindigkeit, das Handling und die Auswertung unterschiedlich sind. Ebenso ungeeignet sind etablierte Prüfverfahren und Ausrüstungen aus dem Geräte- und Anlagenbau.
Für den in der AVT zukünftig relevanten Bereich mit Abmessungen des zu inspizierenden Volumens von einigen 100 nm bis 10 µm Kantenlänge und Detailauflösungen um 1 µm Voxel-Größe existieren in ihrer Anwendung komplexe und zeitaufwändige Laborverfahren. Benötigt werden jedoch einfach anzuwendende, schnelle und damit inline-fähige Lösungen.
Finanzierung: BMBF - Innovationsinitiative "Forschung für den Markt im Team"
Laufzeit: 01.04.2009 bis 31.03.2011
