• Applikationen
  • nanomex @ ZµP
  • nanotom @ ZµP
  • In-Situ Messzelle
  • Röntgendiagnostik

    Das größte Potenzial 3D-bildgebender Prüfverfahren bietet die Röntgentechnik. Aufgrund der verwendeten Wellenlängen (10-3 nm bis 10 nm) kann eine besonders hohe Ortsauflösung erreicht werden. Genau hier liegen die Grenzen der alternativen Ultraschall- und Thermographietechniken. Allerdings kommen die Röntgenverfahren bisher nicht in dem erforderlichen Maße zum Einsatz, da höher auflösende Messungen zu große Prüfzeiten für eine Prozessintegration beanspruchen und auftretende Streueffekte die Bildqualität zu stark reduzieren und damit nur eine geringe Detailerkennbarkeit ermöglichen.

    Zur Lösung dieser Probleme und der damit verbunden Bereitstellung innovativer Lösungen für aktuelle und zukünftige Anforderungen setzt das Zentrum nanoeva® genau an diesem Punkt an und bedient sich dabei modernster Labortechnik. Profitieren Sie vom umfangreichen, über die Jahre gewonnenen, Expertenwissen international anerkannter Wissenschaftler und aktuellen Entwicklungen, die in Kooperation mit führenden Herstellern aus der Industrie immer wieder in innovativen Methoden und Produktlösungen fließen.

    Verfahrensbeschreibung

    Die Inspektion mittels Röntgenstrahlung ist ein durchstrahlendes Inspektions- verfahren (Radiografie). Das zu untersuchende Objekt wird zwischen einer Röntgenquelle und einem Röntgendetektor positioniert. In Abhängigkeit von der Absorption des auf das  Untersuchungsobjekt gerichteten Röntgenstrahls wird eine, bei einem einzeiligen Detektor, eindimensionale Projektion des durchdrungenen Objektquerschnittes erfasst. Bei Verwendung eines Detektorfeldes wird hingegen eine zweidimensionale Projektion des Untersuchungsobjektes abgebildet.

    Die geometrische Vergrößerung dieser Anordnung ist abhängig von der Entfernung des Objektes zur Strahlenquelle bzw. des Detektors. Die erreichbare Auflösung wird durch die Anzahl der Detektorelemente (Pixel) begrenzt. Zur digitalen Weiterverarbeitung wird diese Projektion diskreten Grauwerten zugeordnet. Durch Verwendung mehrerer winkelabhängiger Projektionen ist eine dreidimensionale Rekonstruktion des Untersuchungsobjektes möglich. Diese Volumenrekonstruktion ist u.a. wichtig um die Lage und die Größe von Fehlern im Untersuchungsobjekt auszumachen. In der Röntgentomografie werden hierzu die Röntgenquelle und der Detektor um eine Achse des fixierten Untersuchungsobjektes bewegt. Bei dieser Anwendung werden hunderte Projektionen aufgenommen und durch zeitaufwendige, mathematische Algorithmen verarbeitet. Ebenso bietet es sich an, mehrere Detektoren in unterschiedlichen Winkeln fest anzuordnen.
    Dadurch ist eine gleichzeitige Aufnahme von mehreren Projektionen unter definierten Winkeln möglich (Limited Angle). In Kombination mit einer translatorische Bewegung des Untersuchungsobjektes durch den Strahlengang der Röntgenquelle (Laminografie) ist hier ebenso eine Volumenrekonstruktion möglich.