Verschiedenste Eigenschaften einer Oberfläche wie z.B. Topografie, Rauheit, Oberflächenenergie oder Reinheit beeinflussen ihr Verhalten bei der Benetzung, Beschichtung oder Verbindungsbildung. Oft besteht die Anforderung, solche Oberflächeneigenschaften gezielt zu modifizieren.

Ein Verfahren zur Oberflächenmodifikation ist die Plasmabehandlung. Die frei beweglichen Teilchen in einer Plasmawolke (Ionen, Elektronen, aber auch neutrale Atome und andere) wechselwirken verschieden mit einer Oberfläche. Je nach Prozessgas und Prozessparametern kann man so in einer Plasmakammer eine Oberfläche reinigen, aktivieren, passivieren, funktionalisieren oder sogar strukturieren.