Plasmabehandlung

Typ
Dreva Clean 450
Geräteklasse
Plasmaanlage
Hersteller
VTD Vakuumtechnik Dresden
Anwendung
  • Aktivierung von Oberflächen mittels Sauerstoff / Raumluft / Argon (Argon+Sauerstoff) / Argon-Wasserstoff / Tetrafluormethan-Sauerstoff, t=(0,5 - 30) min
  • Oberflächenätzen mittels Sauerstoff und Tetrafluormethan / abhängig vom zu ätzenden Material (Bedingung: Material muss durch Prozessgas in Gasphase umgesetzt werden), t=(3 - 60) min
  • Oberflächenreinigung mittels Sauerstoff / Argon / Wasserstoff / Wasserstoff+Argon / Sauerstoff+Argon / Purigon, t=(0,5 - 20) min
  • Beschichten mittels Methan, Acetylen, Hexafluorethan, Octafluorcyclobutan, Hexamethyldisiloxan, (Prozessgas=Monomere), t=(5 - 60) min
Eigenschaften
  • Niederdruck-Plasmaanlage mit HF-Anregung (f=13,56 MHz)
  • Prozesszeit (tmax=30 min) und Plasmaleistung (Pmax=600 W) wählbar
  • Vorpumpe 65 m³/h, chemiefest mit Öldampfabscheider
  • Druckregeleinheit mit Butterfly-Drosselventil, (0,1 - 1) mbar
  • Arbeitsdruck p=(20-80) Pa
  • 2 MFC für 2 Gase, je 500 sccm, Mischungsverhältnis wählbar
  • Arbeitsgase: O2, Ar, CF4, N2
  • Kammergröße (450 x 450 x 500) mm, max. Substratgröße (300 x 260) mm á 10 Stück im Stapel

Auswahl charakteristischer Anwendungsbeispiele

  • Beispiel Klebevorbehandlung: Herstellen einer hydrophilen Schicht.
    • Prozessgase O2 + Ar,
    • Plasmaleistung 400 W,
    • Arbeitsdruck: (25-30) Pa,
    • Behandlungszeit: ca. 1 min.
  • Beispiel Lotus-Effekt: Herstellen einer hydrophoben Schicht
    • Prozessgase: O2,
    • Plasmaleistung 400 W,
    • Arbeitsdruck: (25-30) Pa,
    • Behandlungszeit: ca. 1 min.
  • Beispiel Lotvorbehandlung von Bauelementen:
    • Prozessgas CF4 + (O2 / Luft)
    • Plasmaleistung 400 W,
    • Arbeitsdruck: (25-35) Pa,
    • Behandlungszeit: (10 min)
  • Beispiel Reinigungen von Au-Bondoberflächen:
    • Prozessgas Ar / O2,
    • Plasmaleistung (75-100) W / 300 W
    • Arbeitsdruck: 26 Pa / 100 Pa
    • Behandlungszeit: 5 min / 3 min.