3D-Profilometrie

Typ
µScan AF2000
Geräteklasse
Geometrische Messung
Hersteller
NanoFocus
Anwendung
  • Optische 3D-Scanning-Profilometrie unter Einsatz verschiedener Punktsensoren
    • Autofokus-Sensor
    • konfokaler Sensor
    • chromatischer Sensor
    • holografischer Sensor
  • Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
Eigenschaften
  • Messbereich 150 mm x 200 mm
  • Höhen-Messbereiche zwischen 1000 μm und 18 mm
  • Höhenauflösung bis zu 25 nm
  • Automatisierbare Messabläufe