3D-Topometrie
Typ
µSurf
Geräteklasse
Geometrische Messung
Hersteller
NanoFocus
Anwendung
- Konfokale Mikroskopie unter Nutzung der Multi-Pinhole-Technologie
- Sekundenschnelle Flächenmessung in hoher Auflösung
- Messung von Topografie, Höhenprofil oder Schichtdicke
Eigenschaften
- Messbereich bis 50 mm x 50 mm
- Höhen-Messbereiche zwischen 1 μm und 10 mm
- Höhenauflösung bis zu 1 nm