Computer-Tomografie
Typ
nanotom
Geräteklasse
Röntgengerät
Hersteller
GE Sensing & Inspection Technologies GmbH
Anwendung
Volumenanalyse und –rekonstruktion von Bauelementen und Baugruppenteilen
Eigenschaften
- offene nanofocus-Röhre mit Diamanttarget
- Beschleunigungsspannung: 10 – 180 kV / 15 W
- Strahlstrom: 5 – 1.000 µA
- Präzisionsmanipulator auf Granitbasis
- hochauflösender Digitaldetektor mit 2.400 x 2.400 Pixel, 12 Bit
- Pixelgröße: 50 µm x 50 µm
- minimale Voxelgröße: < (500 nm x 500 nm x 500 nm)
- geometrische Vergrößerung: 1,7-fach…1.000-fach
- maximale Probengröße / -masse: h = 150 mm, d = 120 mm, m = 1 kg
Beispiele
Komplettmodell eines USB-Sticks
QFN-Einbauplatz mit Thermal Vias
Lötstelle eines 0201
BGA-Anschlüsse mit mangelhafter Anbindung zum Substrat
Virtueller Schnitt durch eine 0201-Lötstelle
