Röntgenmikroskop
Typ
nanome|x
Geräteklasse
Röntgengerät
Hersteller
GE Sensing & Inspection Technologies GmbH
Anwendung
- Zerstörungsfreie Inspektion von Bauelementen und Baugruppen, insbesondere mit kontrastreichen Materialien (Lotwerkstoffe, Metallisierungen etc.)
- Fehleranalyse und Defektsuche
- Qualitätskontrolle
- Inspektion verdeckter Verbindungsstellen
- Analyse von Aufbauten
Eigenschaften
- Vollschutz-Röntgengerät nach RÖV
- Hochauflösende Senkrecht- und Schrägdurchstrahlung bis 70°
- Offene nanofocusTM-Röhre mit Diamanttarget
- Beschleunigungsspannung 10 - 160 kV / 15 W, Strahlstrom 5 - 880 µA
- Probenmanipulation 5 Achsen
- Hochauflösende Echtzeitbildkette und alternativ Digitaldetektor
- CCD-Kamera 1126 x 1600 Pixel, 12 Bit
- gekühlter Digitaldetektor 1000 x 1000 Pixel, 14 Bit
- Geometrische Vergrößerung > 1.000-fach
- Minimale Detailerkennbarkeit: 400 nm
- Zusatzoption Laminografie (Schichttomografie)
- Zusatzoption Tomografie
Beispiele
QFN auf Leiterplatte, Radiografie
Gleiches QFN-Bauelement, Laminografie
Gleiches QFN-Bauelement, Tomografie, 3D-Modell
Radiografie Mikroprozessor-Modul, PGA
Radiografie, doppelseitig mit BGA bestückte Baugruppe
